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ZYGO 超高分辨率成像,精密中频特征计量

日期:2019年07月12日  点击数:载入中...

YGO新型Verifire HDX干涉仪是为超 高 精度的光学元件和系统设计和制造的,可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有Verifire HD的功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器,并增加了重要的增强功能,如刷新行业水平的分辨率和成像能力,仪器传递函数(ITF)、出众的中频特征分析和大坡度表面测试,同时也兼具了ZYGO DynaPhase?系列动态采集技术,可以消除震动引起的问题并且能够在近乎任何环境中 精 确 计量。



特殊设计优化的分辨率和性能

Verifire HDX系统具有全新的光学设计,经过严格设计,可为其所配的3.4kx 3.4k(1160万像素)传感器提供突破像素限制的性能,呈现增强的图像,可以显示出较低分辨率干涉仪难以辨识的表面特征。这种超 高的空间分辨率不会以牺牲速度为代价,该系统在全分辨率下以帧率96 Hz运行,比其它高分辨率干涉仪速度快10倍,那些由于采样速度较慢在采样的时候会引入震动误差从而测试 能力受限。

功率谱密度(PSD)和衍射分析工具完善了Verifire HDX系统的中频特征分析能力,并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表面特性。


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